DRAM積層パッケージ、DIMM及び半導体製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：小川勝男 , 田中恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-110752
公開番号（公開出願番号）：特開2006-294093
出願日： 2005年04月07日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】半導体試験装置から高速DRAM積層パッケージに対して試験及び/又は救済を可能にしたDRAM積層パッケージ、DIMM並びに半導体製造方法を提供することにある。【解決手段】積層した複数のDRAM4と試験装置1が接続される少なくともアドレス、コマンド及びデータ入出力用の外部端子との間にインターフェースチップ2を設け、前記複数のDRAMと前記インターフェースチップとをパッケージに実装して構成し、前記インターフェースチップ2には、前記複数のDRAMを試験するための試験パターンを生成するアルゴリズミックパターン発生部10と、該生成された試験パターンを前記複数のDRAMに印加する印加回路20、21と、前記複数のDRAMからの応答信号と期待値とを比較判定する比較器18とを有するテスト回路8を備えたDRAM積層パッケージ。【選択図】図5

請求項１：

積層した複数のDRAMと試験装置が接続される少なくともアドレス、コマンド及びデータ入出力用の外部端子との間にインターフェースチップを設け、前記複数のDRAMと前記インターフェースチップとをパッケージに実装し、前記パッケージの前記アドレス、コマンド及びデータ入出力用の前記外部端子に試験装置を接続し、前記試験装置から前記パッケージの前記外部端子に前記DRAMを試験するための試験パターンを印加し、前記パッケージ内の前記DRAMからの応答信号と期待値とを比較判定することで、前記パッケージ内の前記インターフェースチップと前記DRAMとの間の前記アドレスの信号線、前記コマンドの信号線、及び前記データの信号線の接続を試験することを特徴とするDRAM積層パッケージの試験方法。

IPC (4件)：

G11C 29/12 , G11C 29/44 , G11C 11/401 , G01R 31/28

FI (5件)：

G11C29/00 671Z , G11C29/00 655S , G11C11/34 371A , G11C11/34 371D , G01R31/28 B

Fターム (32件)：

2G132AA08 , 2G132AA14 , 2G132AB01 , 2G132AC03 , 2G132AD06 , 2G132AD15 , 2G132AE11 , 2G132AE14 , 2G132AE19 , 2G132AE22 , 2G132AG01 , 2G132AG08 , 2G132AH07 , 2G132AK13 , 2G132AK15 , 2G132AK29 , 5L106AA01 , 5L106BB01 , 5L106CC14 , 5L106DD11 , 5L106FF01 , 5L106GG02 , 5M024AA27 , 5M024BB30 , 5M024DD40 , 5M024KK40 , 5M024LL16 , 5M024MM11 , 5M024PP01 , 5M024PP02 , 5M024PP07 , 5M024PP10

引用特許：

出願人引用 (4件)

半導体装置の試験方法及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-210803 出願人：富士通株式会社
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-018455 出願人：富士通株式会社
単一ICチップに代わるICチップ積層体
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-507114 出願人：イルビンセンサーズコーポレーション

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審査官引用 (3件)

半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-018455 出願人：富士通株式会社
単一ICチップに代わるICチップ積層体
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-507114 出願人：イルビンセンサーズコーポレーション
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-225387 出願人：三菱電機株式会社

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