特許

J-GLOBAL ID：200903001055636534

光電変換装置及びその製造方法

発明者： 大谷 智彦
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259809
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102547
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 コンパクトな構造を有し、且つ低廉化が図れると共に、良好な集光機能を有する光電変換装置を提供する。【構成】 光電変換半導体層としてのi-Si膜5の上方に上部ゲート絶縁膜10を介してITOでなる上部ゲート電極11Aを形成し、この上部ゲート電極11Aの上にAl-Ti膜をパターニングした後、このAl-Ti膜を陽極酸化してSi2O3でなるレンズ部12Bに変化させる。Al-Ti膜は陽極酸化により、断面が半円状のレンズとして適した形状となる。このため、良好な集光機能の有し、且つレンズ一体型のコンパクトな光電変化装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

光電変換半導体層の上方にメタルの陽極酸化膜でなるレンズを形成したことを特徴とする光電変換装置。

IPC (3件)：

H01L 31/10 ,  H01L 27/146 ,  H01L 31/0232

FI (3件)：

H01L 31/10 A ,  H01L 27/14 C ,  H01L 31/02 D