特許
J-GLOBAL ID:200903001057488893
光学機能性フィルムの製造方法及び製造装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-078913
公開番号(公開出願番号):特開2004-285412
出願日: 2003年03月20日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
【課題】フィルムの流れ方向に、膜厚、反射率等の均一性が高い光学機能性フィルムを生産性良く提供する。【解決手段】連続走行する光透過性の可撓性基材の上に、少なくとも1層以上、光学機能性膜を真空成膜法にて形成する工程と、光学機能性膜にX線発生装置の発生するX線を照射し、光学機能性膜から二次的に発生する蛍光X線、又は、反射X線をX線検出器で検出する工程と、光学機能性膜に、可視光発生装置の発生する光線を照射し、光学機能性膜から反射する可視光線を検出器で検出して光学機能性膜の視感度反射率、及び、反射色相を連続測定する工程と、前記の測定した測定結果と目標値との差を算出し、光学機能性フィルムの製造条件として、基材の走行スピード等を調整する工程を含む光学機能性フィルムの製造方法及び製造装置を特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
連続走行する光透過性の可撓性基材の上に、少なくとも1層以上、光学機能性膜を真空成膜法にて形成する工程と、
光学機能性膜にX線発生装置の発生するX線を照射し、光学機能性膜から二次的に発生する、光学機能性膜を構成する少なくとも一つ以上の元素の蛍光X線をX線検出器で検出して、膜厚を連続測定する工程と、
光学機能性膜に、可視光発生装置の発生する光線を照射し、光学機能性膜から反射する可視光線を検出器で検出して光学機能性膜の視感度反射率と反射色相を連続測定する工程と、
前記の測定した膜厚と、視感度反射率と、反射色相の測定結果が、その目標値となるように測定結果と目標値との差を算出し、光学機能性フィルムの製造条件として、基材の走行スピード、印加電力、原料ガスの流量、成膜圧力、又は、基材の温度のうち、少なくとも1つ以上、調整する工程を含むことを特徴とする光学機能性フィルムの製造方法。
IPC (3件):
C23C16/52
, C23C14/54
, G02B1/11
FI (3件):
C23C16/52
, C23C14/54 C
, G02B1/10 A
Fターム (29件):
2K009AA02
, 2K009BB11
, 2K009CC03
, 2K009DD04
, 2K009DD09
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029EA00
, 4K029EA01
, 4K029EA03
, 4K029EA04
, 4K029EA08
, 4K030CA07
, 4K030CA17
, 4K030HA14
, 4K030JA01
, 4K030JA05
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030JA12
, 4K030JA16
, 4K030JA20
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 4K030LA18
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