特許
J-GLOBAL ID:200903001061867556
液晶表示素子用基板貼り合せ装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (11件):
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 臼井 伸一
, 藤野 育男
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 高梨 憲通
, 朝日 伸光
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-387990
公開番号(公開出願番号):特開2004-310023
出願日: 2003年11月18日
公開日(公表日): 2004年11月04日
要約:
【課題】各ステージ間の撓み具合を最大限減らせるようにした液晶表示素子製造工程用基板貼り合せ装置を提供する。【解決手段】外観をなすベースフレーム100と、ベースフレームに装着され、相互に結合される上部チャンバーユニット210及び下部チャンバーユニット220と、各チャンバーユニットの内側空間にそれぞれ備えられ、一対の基板を固定する上部ステージ230及び下部ステージ240と、少なくとも一方のチャンバーユニットとステージとの間に備えられた多数の第1弾性部材300とを有する。【選択図】図3A
請求項1:
外観をなすベースフレームと、
前記ベースフレームに装着され、相互に結合される上部チャンバーユニット及び下部チャンバーユニットと、
前記各チャンバーユニットの内側空間にそれぞれ備えられ、一対の基板を固定する上部ステージ及び下部ステージと、
少なくとも一方のチャンバーユニットとステージとの間に備えられた多数の第1弾性部材とを有する液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
IPC (3件):
G02F1/1339
, G02F1/13
, G09F9/00
FI (3件):
G02F1/1339 505
, G02F1/13 101
, G09F9/00 338
Fターム (22件):
2H088FA01
, 2H088FA10
, 2H088FA16
, 2H088FA20
, 2H088FA25
, 2H088FA30
, 2H088MA16
, 2H088MA17
, 2H089NA24
, 2H089NA38
, 2H089NA48
, 2H089NA53
, 2H089NA60
, 2H089QA04
, 2H089QA11
, 2H089QA12
, 2H089QA13
, 2H089TA01
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435KK05
, 5G435KK10
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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