特許
J-GLOBAL ID：200903001063320554
外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034407
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206239
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 リード本数が多い半導体装置であっても、鮮明な投影像を得ることができる外観検査装置を提供する。【構成】 半導体装置10の搭載部21に、その開口部の形状が略四角形で、かつ大きさが少なくともパッケージ11下面より小さく穿設した貫通孔22と、半導体装置10の下方に配置し、貫通孔22を介して半導体装置10に光を照射する光源3と、半導体装置10の側方に設けた光学読み取り装置4とから構成され、貫通孔22の各隅部に貫通状態のスリット22aを設けたものである。
請求項（抜粋）：
半導体装置のパッケージ側面に導出したリードの外観を検査する外観検査装置において、上部に前記半導体装置を搭載するための搭載部が設けられたワーク台と、前記搭載部の略中央部にその開口部の形状が略四角形で、かつ大きさが少なくとも前記パッケージ下面よりも小さく穿設された貫通孔と、前記半導体装置の下方に配置され、前記貫通孔を介して前記半導体装置に光を照射するための光源と、前記搭載部の表面に搭載された前記半導体装置の側方に設けられた光学読み取り装置とから構成され、前記貫通孔の各隅部にはスリットが貫通した状態に設けられていることを特徴とする外観検査装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G01N 21/84
, G01N 21/88
