特許

J-GLOBAL ID：200903001064916000

スパッタリング及び再スパッタリングのための自己イオン化及び誘導性結合プラズマ

発明者： ディン, ペイジュン ,  シュー, ゼン ,  モゼリー, ロデリック, シー. ,  レンガラジャン, スラジ ,  マイティー, ニルマリャ ,  カロル, ダニエル, エー. ,  チン, バリー ,  スミス, ポール, エフ. ,  アンゲロ, ダリル ,  トリア, アニッシュ ,  フー, ジャンミン ,  チェン, フセン ,  ゴパルラジャ, プラブラム ,  タン, シャンミン ,  フォースター, ジョン, シー.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-557025
公開番号（公開出願番号）：特表2005-514777
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

例えば、タンタル、窒化タンタル及び銅のような堆積材料をスパッタリングするためのマグネトロンスパッタリアクタ、及びその使用方法において、自己イオン化プラズマ(SIP)スパッタリング、及び誘導性結合プラズマ(ICP)スパッタリングが、同じチャンバー内で一緒に又は交互に促進される。又、底部カバレージは、ICP再スパッタリングにより薄くされてもよいし排除されてもよい。SIPは、異なる磁気強度の磁極を有する小さなマグネトロンと、スパッタリング中にターゲットに供給される高い電力とによって促進される。ICPは、RFエネルギーをプラズマへと誘導性結合する1つ以上のRFコイルによって形成される。SIP-ICPの結合層は、ホールに対してライナー、バリア、種子又は核生成層として働くことができる。更に、ICP再スパッタリング中に保護材料を与えるようにRFコイルがスパッタリングされてもよい。

請求項（抜粋）：

ターゲットを有するチャンバー内で基板に堆積材料をスパッタ堆積する方法において、 上記ターゲットの背部でマグネトロンを回転するステップであって、前記マグネトロンは、その面積が上記ターゲットの面積の1/4以下で、ある磁気極性の内部磁極が逆の磁気極性の外部磁極によって取り巻かれたものを含み、前記外部磁極の磁束は、前記内部磁極の磁束より少なくとも50%は大きくて、前記ターゲットの付近に自己イオン化プラズマを発生するステップと、 前記ターゲットに電力を印加して、前記ターゲットから前記基板へと材料をスパッタし、そのスパッタされた材料の少なくとも一部分が前記自己イオン化プラズマ内でイオン化されるようにするステップと、 RF電力をコイルに印加してRFエネルギーを誘導性結合し、誘導性結合されたプラズマを前記基板の付近に発生するステップと、 を備えた方法。

IPC (4件)：

H01L21/285 ,  C23C14/35 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205

FI (5件)：

H01L21/285 S ,  C23C14/35 Z ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 M ,  H01L21/88 R

Fターム (76件)：

4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA08 ,  4K029BA16 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029CA13 ,  4K029DA10 ,  4K029DC01 ,  4K029DC03 ,  4K029DC16 ,  4K029DC26 ,  4K029DC39 ,  4K029DC45 ,  4K029EA03 ,  4K029EA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104DD23 ,  4M104DD37 ,  4M104DD39 ,  4M104DD42 ,  4M104DD43 ,  4M104DD52 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104HH13 ,  5F033HH11 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK11 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033NN05 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP16 ,  5F033PP17 ,  5F033PP21 ,  5F033PP22 ,  5F033PP23 ,  5F033PP24 ,  5F033PP27 ,  5F033PP33 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ92 ,  5F033QQ94 ,  5F033QQ98 ,  5F033RR04 ,  5F033WW01 ,  5F033WW02 ,  5F033WW05 ,  5F033WW07 ,  5F033XX02 ,  5F033XX28