特許

J-GLOBAL ID：200903001066185534

チャンバ装置、チャンバ設備、及び液滴吐出設備、並びに電気光学装置の製造方法

発明者： 小島 健嗣
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-389294
公開番号（公開出願番号）：特開2005-146768
出願日： 2003年11月19日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 作業者の出入りに際して、外部雰囲気の内部への流入及び内部雰囲気の外部への流出の両方を抑制できるチャンバ装置、チャンバ設備、及び液滴吐出設備、並びに電気光学装置の製造方法を実現する。【解決手段】 チャンバ装置7は、ワーク処理を周囲の雰囲気と隔絶した雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を収容する主室80と、主室80に隣接する予備室81と、主室出入り口151を開閉する主室扉152と、外部出入り口を開閉する予備室扉162とを備える。また、チャンバ装置7は、主室80及び予備室81のそれぞれが給気装置と排気装置とを備える。さらに、チャンバ装置7は、それぞれの扉の開閉状態を検知する開閉検出装置と、ロック装置155,164とを備え、主室扉152と予備室扉162のうち少なくとも一方は開放禁止状態になっているように制御する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ワーク処理を周囲の雰囲気と隔絶した雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を収容するチャンバ装置であって、 前記ワーク処理装置を収容する主室と、 前記主室に隣接する予備室と、 前記主室と前記予備室とを隔てる隔壁に設けられた主室出入り口を開閉する扉であって、閉鎖時には、前記主室の内部の気体と前記予備室の内部の気体とを隔絶可能な主室扉と、 前記予備室の壁に設けられた外部出入り口を開閉する扉であって、閉鎖時には、前記チャンバ装置の外部の気体と前記予備室の内部の気体とを隔絶可能な予備室扉とを備えたことを特徴とするチャンバ装置。

IPC (7件)：

E04H5/02 ,  B05C15/00 ,  B65G49/00 ,  G09F9/00 ,  H01L21/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (7件)：

E04H5/02 B ,  B05C15/00 ,  B65G49/00 C ,  G09F9/00 338 ,  H01L21/02 Z ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (41件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA07 ,  4F042AB00 ,  4F042DE01 ,  4F042DE03 ,  4F042DE07 ,  4F042DE09 ,  4F042DE10 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA15 ,  5F031HA13 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031LA02 ,  5F031LA08 ,  5F031MA23 ,  5F031MA26 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031PA04 ,  5F031PA08 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA23 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2000000604   出願人：株式会社ニコン