特許
J-GLOBAL ID：200903001066205837
ターゲット構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093389
公開番号（公開出願番号）：特開平5-263234
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 スパッタリング中のターゲットの表面の割れを防止することができるようにする。【構成】 ターゲット1を同一の成膜材料を複数個に分割した状態でバッキングプレート2上に形成する。例えば略円形状の分割片1eと、その分割片1eを除く部分を扇状の4個の分割片1a、1b、1c、1dでターゲット1を構成する。そして各分割片1a〜1e相互がなす隣接部分3には、ターゲット1の使用時に成膜材料が熱応力により延びる分を考慮して所定寸法の隙間4を設ける。さらに分割片1a〜1eの隣接部分3に対応する各端部5は、ターゲット1を形成した際に、一方の分割片1a〜1eが他方の隣接する分割片1a〜1eに重なる状態となるように形成する。
請求項（抜粋）：
バッキングプレート上に形成された成膜材料からなるターゲットの構造において、同一の成膜材料が複数個に分割された状態で前記バッキングプレート上に形成されていることを特徴とするターゲット構造。
IPC (2件)：
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