特許

J-GLOBAL ID：200903001066695435

クリーンルーム

発明者： 北村 英樹 ,  前川 幸一郎
出願人/特許権者： 三機工業株式会社
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-052807
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247510
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 生産装置又は機器の上部側で発生する熱気流による対流現象を確実に防止することができるクリーンルームを提供することにある。【構成】 室と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産機械又は機器が配置された上部側のフィルタユニットには、ファンが配設され、生産機械又は機器が配置された床の裏面側には、吸引装置が配置され、生産機械又は機器が配置された領域のフィルタユニットからの流速は、生産機械又は機器が配置されていない領域のフィルタユニットからの流速よりも早く、且つ床の裏面側の吸引装置による流速は、生産機械又は機器が設置されていない領域の流速より早くされていることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

室と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産機械又は機器が配置された上部側のフィルタユニットには、ファンが配設され、生産機械又は機器が配置された床の裏面側には、吸引装置が配置され、生産機械又は機器が配置された領域のフィルタユニットからの流速は、生産機械又は機器が配置されていない領域のフィルタユニットからの流速よりも早く、且つ床の裏面側の吸引装置による流速は、生産機械又は機器が設置されていない領域の流速より早くされていることを特徴とするクリーンルーム。