特許

J-GLOBAL ID：200903001067230851

リニアモータ、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 鎌田 重人 ,  松木 敏雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204974
公開番号（公開出願番号）：特開2001-037200
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 ジャケットの肉薄部の薄さを維持しつつ肉薄部の強度を向上させる。また、コイルおよびジャケット部分の固有振動数を高くする。【解決手段】 磁石と、コイル1aと、前記コイルを覆い、内部の空間に冷媒が供給されるジャケット14,14’とを備え、前記ジャケットは、内部に駆動方向に沿って配置したくしの歯状の形状を有する部材8を有し、前記コイルを、前記部材のくしの歯の間に挟んで保持する。

請求項（抜粋）：

磁石と、コイルと、前記コイルを覆い、内部の空間に冷媒が供給されるジャケットとを備え、前記ジャケットは、内部に駆動方向に沿って配置したくしの歯状の形状を有する部材を有し、前記コイルは、前記部材のくしの歯の間に挟んで保持されることを特徴とするリニアモータ。

IPC (3件)：

H02K 41/02 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H02K 41/02 A ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (22件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CC02 ,  2F078CC14 ,  2F078CC15 ,  2F078CC19 ,  2F078CC20 ,  5F046CC01 ,  5F046CC18 ,  5F046DA26 ,  5H641BB06 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG12 ,  5H641HH01 ,  5H641HH06 ,  5H641JA06 ,  5H641JA09 ,  5H641JB05