特許

J-GLOBAL ID：200903001067274255

円形基板位置決め装置

発明者： 徳島 忍
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164153
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012709
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 円周部にノッチが形成されたウェハの位置を光学的な手段により効率よく検出する装置を提供する。【解決手段】 円周部にV字形のノッチ1aを有する円形のウェハ1は、その中心C1を回転テーブル2の中心に合致させてテーブル2上に載置される。制御部5はモータ8にテーブル2の駆動信号を出力し、エンコーダ6からテーブル2の角度位置の信号を受信する。発光器3はスリット3aを介してスリット状のビーム7を出力する。受光器4はノッチ1aを通過する光を受光し、出力を制御部5へ送る。ノッチ1aはV字形状を有するので受光器4の出力は回転角に対して二次曲線的に変化する。この変化に基づいて、ノッチの中心位置が演算される。

請求項（抜粋）：

ノッチを有する円形基板の中心と回転中心が一致するように、前記円形基板を保持し、回転させる回転テーブルと、該回転テーブルを回転させ、回転位置を検出する検出器を有する駆動モータ又は前記回転テーブルを回転させるパルスモータと、前記駆動モータ又は前記パルスモータを制御する制御手段と、前記円形基板の円周部付近にスリットビームを投光する投光手段と、前記スリットビームを受光する受光手段と、を備え、前記制御手段は、前記回転位置検出器又はパルスモータの出力およびその出力に対応した前記受光手段からの受光出力に基づいてノッチ位置を算出することを特徴とする円形基板位置決め装置。