特許

J-GLOBAL ID：200903001071578030

電子顕微方法およびそれを用いた電子顕微鏡

発明者： 郷原 一寿
出願人/特許権者： 国立大学法人 北海道大学
代理人 (1件)： 鷲田 公一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005009228
公開番号（公開出願番号）：WO2005-114693
出願日： 2005年05月20日
公開日（公表日）： 2005年12月01日
要約：

位相回復法の原理にのっとって高分解能化を実現することができる電子顕微方法。本方法を用いた電子顕微鏡(10)は、位相回復法に特化した専用装置であり、ハードウエア(入射系(100)、試料系(200)、検出系(300)、計算機系(400))と、ソフトウエア(拘束条件、最適化手法)が一体化されている。サポート用スリット(210)の強度分布および位相分布は、位相回復法における実空間拘束条件として付与される。検出系(300)は、電気的にオンオフ可能な対物レンズ(310)とコース検出器(320)を含むコース系と、ファイン検出器(330)を含むファイン系とを有する。コースイメージは、対物レンズを電気的にオンして取得され、ファインイメージは、対物レンズを電気的にオフして回折パターンを取得した後、得られたコースイメージと回折パターンを用いた位相回復法によって再構成される。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に照射し、試料からの回折波の強度を計測し、計測した回折波の強度をもとに位相回復法を用いて物体の像を再構成する電子顕微方法であって、 物理的な対物レンズによって空間分解能が比較的低いコースイメージを取得する工程と、 物理的な対物レンズを用いることなく、回折波の強度を用いて位相回復法によって空間分解能がより高いファインイメージを取得する工程と、 を有する電子顕微方法。

IPC (3件)：

H01J 37/295 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/22

FI (3件)：

H01J37/295 ,  H01J37/26 ,  H01J37/22 501Z

Fターム (3件)：

5C033SS03 ,  5C033SS06 ,  5C033SS10