特許
J-GLOBAL ID：200903001075291126
気泡除去装置およびその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153733
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 液体中に含まれる気泡ないしは溶存気体を効率よく除去できる気泡除去装置とその使用方法を提供する。【構成】 ハウジング(1) と、このハウジング下端部位にそれぞれ設けられハウジング内部空間に連通する液体導入管路(7) および液体導出管路(8) と、このハウジングの上端部位に設けられハウジング内部空間に連通する気体排出管路(4)とを有する気泡除去装置である。液体導入管路(7) の液体導入口(9) が、液体導出管路(8) の液体導出口(10)に比較して、液体導出管路(8) の管外径以上に、鉛直方向高位置に設置してある。また、ハウジング内を第1室と第2室とに区画するように、ハウジング内にセパレータ(23)を装着し、セパレータの少なくとも一部を、気体は透過するが液体は透過しない選択透過性の仕切り壁で構成する。
請求項（抜粋）：
ハウジングと、上記ハウジングの下端部位に設けられ、ハウジング内部空間に液体を導入する液体導入管路と、上記ハウジングの下端部位に設けられ、ハウジング内部空間内の液体を導出する液体導出管路と、上記ハウジングの上端部位に設けられ、ハウジング内部空間に連通する気体排出管路とからなる気泡除去装置であって、上記液体導入管路の液体導入口が、液体導出管路の液体導出口に比較して、液体導出管路の管外径以上に、鉛直方向高位置に設置してある気泡除去装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
