特許
J-GLOBAL ID:200903001077080149
機能性塗膜の形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
久保山 隆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-285178
公開番号(公開出願番号):特開平7-140319
出願日: 1993年11月15日
公開日(公表日): 1995年06月02日
要約:
【要約】【目的】ブラックマトリックスのような機能性塗膜の微細なパターンを有する透明基板を簡単な方法で安価に製造できる方法を提供するものである。【構成】機能性塗膜のパターンを有する透明基板の製造法において、次の工程を順次行なって製造する方法。(a)透明基板に、パターンを形成しようとする感光性樹脂からなる機能性塗膜を全面に形成する工程。(b)塗膜がついた該基板の裏面から、フォトマスクを通した光を照射する露光工程。(c)露光工程を経た該機能性塗膜を現像することにより、求めるパターン以外の部分を除去した後、熱処理(ポストベーキング)することにより固定し、該機能性塗膜のパターンを形成する工程。
請求項(抜粋):
機能性塗膜のパターンを有する透明基板の製造法において、次の工程を順次行なって製造する方法。(a)透明基板に、パターンを形成しようとする感光性樹脂からなる機能性塗膜を全面に形成する工程。(b)塗膜がついた該基板の裏面から、フォトマスクを通した光を照射する露光工程。(c)露光工程を経た該機能性塗膜を現像することにより、求めるパターン以外の部分を除去した後、熱処理することにより固定し、該機能性塗膜のパターンを形成する工程。
IPC (2件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
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