ステージ位置計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256087
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109417
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】干渉計光路上における空気揺らぎや温度分布変化によるステージ位置の計測精度への影響を低減させる。【構成】レーザ干渉計(L、D、9、10等)は、Xステージ3の一部に設けられた移動鏡6と、投影光学系4の鏡筒下部に設けられた固定鏡5との各々の反射面に対して、光ビームBL、BSをほぼ垂直に、かつ互いにほぼ平行に配置して投射する。ステージ制御系STDは、このレーザ干渉計の計測信号に基づいてYステージ2の位置を計測する。さらに、可動手段(7、8、23)は、固定鏡5と移動鏡6との各々にビームBL、BSを投射し、固定鏡5と移動鏡6との各々で反射したビームを同軸に合成するビームスプリッタ10を、Yステージ2の移動に追従して、移動鏡6に向かうビームBSに沿った方向に移動させる。

請求項（抜粋）：

ベース上を所定の方向に移動可能なステージと、該ステージの一部に移動方向と垂直な反射面をもって固設された移動鏡と、前記ベースに対して固定的に配置された固定鏡と、前記移動鏡と前記固定鏡との各々の反射面に対して、可干渉性の光ビームをほぼ垂直に、かつ互いにほぼ平行に配置して投射する光波干渉計と、該光波干渉計の計測信号に基づいて前記ステージの位置を検知する位置検知回路とを備えたステージ位置計測装置において、前記光波干渉計は、前記移動鏡と前記固定鏡との各々に向かう光ビームを射出するとともに、前記移動鏡と前記固定鏡との各々で反射した光ビームを光電検出器へ導く光分割器を有し、前記ステージの移動に追従して、前記光分割器を前記移動鏡に向かう光ビームに沿った方向に移動させる可動手段を備えたことを特徴とするステージ位置計測装置。

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