特許

J-GLOBAL ID：200903001090974450

超音波変換器のアレイ

発明者： マライケ カタリーネ クレー ,  ティルマン ウルリヒ シュレンカー ,  オラフ ダナッペル ,  ハンス ペーター レーブル ,  ゲオルク シュミッツ ,  ジョン ダグラス フレイザー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-014694
公開番号（公開出願番号）：特開2002-271897
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】本発明は、高い圧電結合係数kの圧電層を有する改善された超音波変換器を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、基板(1)と、膜(2)と、第1の電極(4)と、圧電層(5)と、第2の電極(6)とを夫々有する超音波変換器のアレイに関わり、基板(1)は、膜(2)と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部(3)を有し、圧電層(5)は高い圧電結合係数kを有しテクスチャされている。本発明は、超音波変換器、及び、超音波変換器のアレイを製造する方法に更に関わる。

請求項１：

基板と、膜と、第1の電極と、圧電層と、第2の電極とを夫々有し、上記基板が、上記膜と一つの側において隣り合う少なくとも一つの開口部を有する超音波変換器のアレイであって、上記圧電層がテクスチャ構造の層である超音波変換器のアレイ。

IPC (4件)：

H04R 17/00 330 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (6件)：

H04R 17/00 330 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/18 101 J

Fターム (6件)：

5D019AA27 ,  5D019BB02 ,  5D019BB09 ,  5D019BB12 ,  5D019FF04 ,  5D019HH01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 圧電体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-043089   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-274899
  

審査官引用 (4件)

• 圧電体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-043089   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-274899
  
• 特開平3-274899
  
• 特開平3-274899