スパッタ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅野中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315200
公開番号（公開出願番号）：特開平7-166345
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年06月27日
要約：

【要約】【目的】スパッタ装置におけるコリメート板を清浄にクリーニングする。【構成】コリメート板1にヒータ2を一体に組込んである。ヒータ2に通電してコリメート板1を加熱することにより、コリメート板1の板面及び開口部8の内周面に付着したスパッタ粒子を蒸発気化させて除去する。

請求項１：

クリーニング機構を有し、チャンバ内のターゲット材より飛散したスパッタ粒子をコリメート板の開口部に通してウェハホルダ上の蒸着体に付着させてスパッタ処理を行うスパッタ装置であって、クリーニング機構は、コリメート板に付着したスパッタ粒子を加熱して蒸発させ、これを除去するものであることを特徴とするスパッタ装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 , H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭60-135569
特開昭63-310965
特開昭62-017173

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