プラズマ生成装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140285
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335274
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】無汚染で高速度のウエハ処理ができるプラズマ生成装置を提供する。【構成】放電室7と、放電室内にプラズマを発生するためのマグネトロン1と、導波管と、ソレノイドコイル10,11と、放電室7にマイクロ波を供給するための石英板9と、石英板9の内側にガスを溜めるための空間と、放電室の最大直径の1/4以下の大きさのガス供給口17を持つ石英板18により、ウエハ面にガスを噴出させる。

請求項（抜粋）：