イミド系感光性樹脂組成物、絶縁膜およびその形成法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191049
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006490
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】弱アルカリ水溶液でも現像可能で、ポストベ-クして得られる絶縁膜が耐熱性や耐薬品性及び高絶縁性を有するイミド系感光性樹脂組成物、絶縁膜および絶縁膜の形成法の提供。【解決手段】 (1)テトラカルボン酸二無水物100モル%に対しエポキシ基との反応性官能基を有する芳香族ジアミン10〜50モル%とジアミノポリシロキサン10〜70モル%と複数環芳香族ジアミン0〜20モル%とのジアミンの合計が70〜90モル%の割合で反応させたエポキシ基との反応性官能基を有するイミドシロキサンオリゴマ-と感光基を有するエポキシ化合物との反応物である感光性イミドシロキサンオリゴマ-(2)不飽和二重結合を有するイソシアネ-ト(3)光重合開始剤及び(4)有機溶媒からなり、各成分が、感光性イミドシロキサンオリゴマ-100重量部に対し、不飽和二重結合を有するイソシアネ-ト1〜80重量部、光重合開始剤0.01〜30重量部である。

請求項（抜粋）：

(1)テトラカルボン酸二無水物100モル%に対してエポキシ基との反応性官能基を有する芳香族ジアミン10〜50モル%とジアミノポリシロキサン10〜70モル%と複数環芳香族ジアミン0〜20モル%とのジアミン合計が70〜90モル%の割合で反応させて得られたエポキシ基との反応性官能基を有するイミドシロキサンオリゴマ-と感光基を有するエポキシ化合物との反応物である感光性イミドシロキサンオリゴマ-、(2)不飽和二重結合を有するイソシアネ-ト、(3)光重合開始剤および(4)有機溶媒からなり、各成分の割合が、(1)感光性イミドシロキサンオリゴマ-100重量部に対して、(2)不飽和二重結合を有するイソシアネ-ト1〜80重量部および(3)光重合開始剤0.01〜30重量部であるイミド系感光性樹脂組成物。

IPC (12件)：

G03F 7/038 504 , C08F 2/50 , C08F290/00 , C08G 18/61 , C08G 18/81 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 , G03F 7/028 , G03F 7/075 511 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (12件)：

G03F 7/038 504 , C08F 2/50 , C08F290/00 , C08G 18/61 , C08G 18/81 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 , G03F 7/028 , G03F 7/075 511 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (83件)：

2H025AA00 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC69 , 2H025BC81 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CA30 , 2H025CC03 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J011QA03 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QB23 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA64 , 4J011UA01 , 4J011UA06 , 4J011WA01 , 4J027AG01 , 4J027AG06 , 4J027AG34 , 4J027BA08 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027CA11 , 4J027CB10 , 4J027CC03 , 4J034DL08 , 4J034DM05 , 4J034DM11 , 4J034DM18 , 4J034HA18 , 4J043PA04 , 4J043PC065 , 4J043PC075 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA34 , 4J043SA06 , 4J043SB02 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043UA121 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA262 , 4J043UB012 , 4J043UB122 , 4J043UB302 , 4J043UB321 , 4J043ZB22 , 4J043ZB47

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