特許

J-GLOBAL ID：200903001102947721

透明体の検査方法及び検査装置

発明者： 阿部 哲夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-277900
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117059
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】透明体に付着した透明異物を、形状や大きさに左右されることなく確実に発見することのできる透明体の検査方法及び検査装置を提供すること。【解決手段】透明体の検出装置1は、透明体6の被検査面に対して斜めに光を照射する光照射手段7と、被検査面を透過してくる透過光を検出する光検出手段2と、光照射手段7から出射される光の照射方向を変化させる照射方向変更手段12、13とを備えており、被検査面の同一領域に対して、同時に二方向以上から光が照射されないように、異なる方向からの光を一方向ずつ照射する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

透明体の被検査面に対して斜めに光を照射して、前記被検査面を透過してくる透過光を検出する透明体の検査方法であって、 前記被検査面の同一領域に対して、同時に二方向以上から光が照射されないように、異なる方向からの光を一方向ずつ照射する ことを特徴とする透明体の検査方法。

IPC (2件)：

G01N21/958 ,  G01N21/84

FI (2件)：

G01N21/958 ,  G01N21/84 E

Fターム (38件)：

2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065AA52 ,  2F065BB22 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR06 ,  2F065UU01 ,  2G051AA42 ,  2G051AA73 ,  2G051AA84 ,  2G051AB01 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051ED07 ,  2G051FA10