特許
J-GLOBAL ID：200903001105956730
質量分析計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250890
公開番号（公開出願番号）：特開平5-089823
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】試料を顕微鏡により観察して測定箇所を特定し、測定箇所にレ-ザ光を集光しての照射を可能とし、レ-ザ光により脱離した物質を障害物なく質量分析部に送ることが可能なレーザ質量分析計を提供する。【構成】イオンを加速または偏向する電極28と試料2との間に一個または二個の対物レンズ22a,bを傾斜して設置する。
請求項（抜粋）：
試料を励起するレーザ光源と、前記試料の観察照明用光源と、前記各光源からの光を前記試料に導く光反射ミラーと、前記試料が配置される試料台と、前記試料から放出されたイオンを加速または偏向する複数の電極とこれから飛び出したイオンの飛行時間を検出する検出器とを備えた質量分析計において、前後に二枚の前記電極を配置した傾斜対物レンズを設置したことを特徴とする質量分析計。
IPC (3件)：
H01J 49/10
, H01J 49/40
, G01N 27/62
