特許
J-GLOBAL ID：200903001113634970
表面弾性波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 稔 (外3名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000007057
公開番号（公開出願番号）：WO2001-028090
出願日： 2000年10月11日
公開日（公表日）： 2001年04月19日
要約：
【要約】9.5GHz〜10.5GHzに動作周波数を持ち、特に高い動作周波数を選択出来る高効率の、ダイヤモンドを用いた表面弾性波素子を提供する。ダイヤモンド層あるいは基板層とダイヤモンド層と、ZnO圧電体膜層と櫛形電極層と短絡電極層とを備えた表面弾性波素子において、ZnO層の厚みと表面弾性波の高調波の波長と電極線幅とを特定の範囲に規定した構造により、表面弾性波の3倍または5倍の高調波を利用して、10GHz帯の高周波領域で高い電気機械結合係数を得る。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド層或いは基板上に形成したダイヤモンド層からなる誘電体薄膜の上にZnO層を積層し、その上に表面弾性波を励起させる櫛形電極を配置してなる表面弾性波素子において、ZnO層の厚みをH、表面弾性波の高調波の波長をλM、電極線幅dmとしたとき横軸に(2π・H/λM)、縦軸にdmを与える2次元直交座標グラフにおける、座標((2π・H/λM)=2.2、dm=0.750)で与えられる点Aと、((2π・H/λM)=2.5、dm=0.812)で与えられる点Bと、((2π・H/λM)=3.0、dm=0.826)で与えられる点Cと、((2π・H/λM)=4.0、dm=0.738)で与えられる点Dと、((2π・H/λM)=5.0、dm=0.644)で与えられる点Eと、((2π・H/λM)=5.4、dm=0.563)で与えられる点Fと、((2π・H/λM)=5.0、dm=0.506)で与えられる点Gと、((2π・H/λM)=4.0、dm=0.513)で与えられる点Hと、((2π・H/λM)=3.0、dm=0.574)で与えられる点Iと、((2π・H/λM)=2.5、dm=0.638)で与えられる点Jと、点Aとを順に線分で結ぶ、10本の線分からなる領域ABCDEFGHIJAの前記10本の線分を含む内部に与えられる(2π・H/λM)とdmを満たす構造で励起される表面弾性波の1次モードの5倍高調波を利用することで、電極線幅0.5μm以上で9.5GHz〜10.5GHzの周波数特性で動作することを特徴とする表面弾性波素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/25 C
, H03H 9/145 C
