特許
J-GLOBAL ID:200903001114941435

ポリマー硬化度判定装置及び判定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-200620
公開番号(公開出願番号):特開平5-045288
出願日: 1991年08月09日
公開日(公表日): 1993年02月23日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 保護膜を破損することなく、リアルタイムに硬化度を判定できるポリマー硬化度判定装置を提供する。【構成】 赤外線照射装置1から照射した赤外線を第1の凹面鏡2により集光する。オーバーコート保護膜を塗布したガラス基板3を反射鏡4上に保護膜が赤外線の入射面となるよう設置し、凹面鏡2による赤外線の焦点位置がガラス基板3上の保護膜と反射鏡4の反射面の間になるよう調節する。反射した赤外線をアパーチャー5でフレアー成分を除去後、第2の凹面鏡6で平行光にし、プリズム7でスペクトルに分解し、第3の凹面鏡8で集光し、凹面鏡8の焦点に配設された真空熱電対9により電気信号に変換し、信号増幅器10で増幅しA/D変換器11でデジタル化し、電気信号の内、予め設定した波数のスペクトル強度の電気信号をサンプリングして、演算する。演算結果が予め定めた一定値となったことでポリマーの硬化が終了したことを告知する。
請求項(抜粋):
赤外線を集光して、この集光面に設置され被検査体である表面にポリマーを塗布した基板に照射し、その後、前記基板上で反射した赤外線を平行光にしてからスペクトルに分光し、この分光された赤外線を再び集光して、この集光面においてスペクトル強度を電気信号値に変換し、前記電気信号値から、予め定めた2個以上の波数のスペクトル強度をサンプリングして予め定めた演算を実行し、その演算結果が予め設定した値になったことでポリマーの硬化反応の終了を判定するポリマー硬化度判定方法。
IPC (3件):
G01N 21/75 ,  G01N 21/35 ,  G01N 33/44

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