特許

J-GLOBAL ID：200903001119604755

ガス検出装置

発明者： 増田 堅司 ,  重森 和久
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (8件)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  手島 勝 ,  藤田 篤史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-243152
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085230
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】定在ガスのガス濃度と突発ガスのガス濃度とを安価な手段で検出する。【解決手段】外部空気が流入するチャンバ(40)と、チャンバ(40)に流入した外部空気からチャンバ(40)の外部空気のガス濃度を検出するガスセンサ(20)とを備え、ガスセンサ(20)の基準値を較正するための較正動作を行う。較正動作の開始前のセンサ出力に基づくガス濃度と定在ガス基準レベルとの差を予め設定された閾値と比較して定在ガスレベルを導出し、定在ガス信号を出力する定在ガス部(81)を備えている。センサ出力に基づくガス濃度と予め設定された突発ガス用0レベルとの差を予め設定された閾値と比較して突発ガスレベルを導出し、突発ガス信号を出力する突発ガス部(82)を備えている。そして、導出された定在ガス濃度を表示する定在ガス表示部と、突発ガス濃度を表示する突発ガス表示部とを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

外部空気が流入するチャンバ(40)と、 該チャンバ(40)に流入した外部空気からチャンバ(40)の外部空気のガス濃度を検出するガスセンサ(20)と、 該ガスセンサ(20)の基準値を較正するための較正動作を行う較正手段(73)とを備えたガス検出装置において、 上記ガスセンサ(20)が出力する1つのセンサ出力に基づいて、チャンバの外部空気に定常的に存在する定在ガスのガス濃度と、チャンバの外部空気に突発的に発生する突発ガスのガス濃度とを導出する導出手段(80)を備えているガス検出装置。

IPC (2件)：

G01N27/12 ,  G01N1/00

FI (2件)：

G01N27/12 A ,  G01N1/00 C

Fターム (23件)：

2G046AA18 ,  2G046AA23 ,  2G046AA25 ,  2G046BE04 ,  2G046BE08 ,  2G046BF04 ,  2G046BG05 ,  2G046BJ08 ,  2G046DB02 ,  2G046DC06 ,  2G046DC07 ,  2G046DC14 ,  2G046EB01 ,  2G046FB02 ,  2G052AA03 ,  2G052AB11 ,  2G052AB25 ,  2G052AD42 ,  2G052GA23 ,  2G052HB08 ,  2G052HB10 ,  2G052JA03 ,  2G052JA08