圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、圧電基板ウェハ、圧電基板ウェハの構造、及び製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-326066
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165743
出願日： 2002年11月08日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】異方性圧電結晶材料から成る圧電基板面にエッチングによって凹陥部を形成することによって振動部を形成した超小型の圧電基板を、大面積の圧電基板ウェハを用いたバッチ処理により量産する場合に、凹陥部を包囲する環状部の肉厚を十分に確保して分割時のひび割れを防止する。【解決手段】薄肉の振動部4と、振動部の外周縁を一体的に包囲する厚肉の環状部5と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部3を形成した圧電基板2であって、異方性を有した圧電結晶から成るものにおいて、環状部は、一方の結晶軸方向側の内壁5aが、これと直交する他の結晶軸方向側の内壁よりも緩やかな傾斜角度を備えており、圧電基板の外形寸法は、他の結晶軸方向の基板長さよりも、一方の結晶軸方向の基板長さが長い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薄肉の振動部と、該振動部の外周縁を一体的に包囲する厚肉の環状部と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部を形成した構成の圧電基板であって、異方性を有した圧電結晶から成るものにおいて、前記環状部は、一方の結晶軸方向側の内壁が、これと直交する他の結晶軸方向側の内壁よりも緩やかな傾斜角度を備えており、前記圧電基板の外形寸法は、前記他の結晶軸方向の基板長さよりも、前記一方の結晶軸方向の基板長さが長いことを特徴とする圧電基板。

IPC (3件)：

H03H9/19 , H03H3/02 , H03H9/10

FI (3件)：

H03H9/19 E , H03H3/02 C , H03H9/10

Fターム (10件)：

5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108CC08 , 5J108CC09 , 5J108CC11 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE18 , 5J108MM08

引用特許：

審査官引用 (7件)

圧電デバイス素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-065855 出願人：シチズン時計株式会社
超高周波圧電デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-207495 出願人：東洋通信機株式会社
水晶振動子及びその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-055011 出願人：日本電波工業株式会社

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