特許
J-GLOBAL ID：200903001138585850
露光装置用ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横山 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-018592
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209186
出願日： 2000年01月27日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】 着色樹脂製のレジストを重ね合わせてブラックマトリックスを形成する際に、露光装置用ステージからの反射光に起因する露光むらを防止する。【解決手段】 載置面11に連通した格子状に穿設されており、該載置面11上に載置された被処理基板2を真空吸着/脱着する保持溝12と、該載置面11に開設されて該被処理基板2が搬入出する際に突き上げる突き上げピンが突出/降下する複数のピン穴14とを具えた露光装置用ステージ1において、該保持溝11の保持溝側壁13または該ピン穴14のピン穴側壁15の少なくとも一方が、載置面11から見て逆テーパ状になっているように構成する。
請求項（抜粋）：
載置面に穿設されて該載置面上に載置された被処理基板を吸着/脱着する保持溝と、該載置面に開設されて該被処理基板を突き上げる突き上げピンが突出/降下する複数のピン穴とを具えた露光装置用ステージにおいて、該保持溝の保持溝側壁または該ピン穴のピン穴側壁の少なくとも一方が逆テーパ状になっていることを特徴とする露光装置用ステージ。
Fターム (4件)：
2H097AB07
, 2H097DB01
, 2H097DB07
, 2H097LA12
