走査型近視野顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-053810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173076
出願日： 1991年02月26日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】[目的] 試料表面のエバネセント光を色中心を備えたピックアップで別波長の光に変換することで、横方向分解能および信号対雑音比を向上させる。[構成] 検査される試料に光を照射するための光照射手段と前記試料に対し相対的に走査可能でありかつ前記試料からのエバネセント光を検出するピックアップ手段とを有する走査型近視野顕微鏡において、該ピックアップ手段として前記試料からのエバネセント光により励起されて別波長の光を放出するための色中心を有するものを使用し、該色中心によって放出された別波長の光を光学フィルタを介して光検出手段により検出する。前記色中心の大きさは試料に照射される光の波長に比較して小さくされ、また、前記色中心としては例えば格子欠陥、色素分子等が使用される。

請求項（抜粋）：

検査される試料に光を照射するための光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能でありかつ前記試料からのエバネセント光により励起されて別波長の光を放出するための色中心を有するピックアップ手段と、前記色中心によって放出された別波長の光を検出するための光検出手段とを具備することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。

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