特許

J-GLOBAL ID：200903001145036331

蒸発源装置

発明者： 西脇 文俊 ,  中桐 康司 ,  山本 義明 ,  行天 久朗
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164312
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009711
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 電子ボンバード用熱陰極の湾曲変形量を小さくすることにより、電子ボンバード用熱陰極の使用時間が非常に長く、しかも安定して高品質の薄膜を製膜できる多元系の蒸発源装置を提供する。【構成】 電子ボンバード用熱陰極17のコイルの内部に電気的に絶縁性のまっすぐな支柱18を設ける。電子ボンバード用熱陰極17は高温に加熱されても、絶縁性支柱18が芯となるため、電子ボンバード用熱陰極17は絶縁性支柱18に制限されて、一定範囲以上変形することができなくなる。したがって、電子ボンバード用熱陰極17の変形量を非常に僅かなものとすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

基板表面に蒸着物質を蒸着させる蒸発源装置であって、蒸着物質を貯留した坩堝と、坩堝の中の蒸着物質を加熱するためのコイル状の電子ボンバード用熱陰極と、前記電子ボンバード用熱陰極のコイルの内部に設けた電気的絶縁性の支柱から構成されることを特徴とする蒸発源装置。