特許

J-GLOBAL ID：200903001145553824

アレイ電極基板の検査装置

発明者： 高橋 宏典
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-213804
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075828
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 非接触で高速に検査できるアレイ電極基板の検査装置を提供する。【構成】 プローブ組立体において複数の電気光学プローブは千鳥状に配置されるので、小さな電気光学プローブを複数(例えば8個、16個、20個、40個等)用いることで、長尺の電気光学プローブを構成したことと等価になるので、多数の単位電極の電位の同時測定が可能になる。すなわち、各々の電気光学プローブに測定ビーム光を入射し、各々の反射戻り光をそれぞれ光検出手段で検出しているので、電気光学プローブの個数分の単位電極の電位を同時測定できる。そして、測定ビーム光のアレイ方向における偏向を、アレイ方向と直交する方向におけるアレイ電極とプローブ組立体との相対移動と同期させるので、あるラインのアレイ電極の測定が終了したら、次のラインのアレイ電極の測定を始めることができ、結果として連続的な電位測定が可能になる。

請求項（抜粋）：

電位を測定すべき複数の単位電極が一方向に配列されたアレイ電極が、このアレイ方向と直交する方向に所定の並び間隔で複数並べられることにより、前記単位電極が二次元に配設されたアレイ電極基板を検査するための検査装置において、前記アレイ方向の長さが前記単位電極の複数を包含するサイズの電気光学プローブを所定ピッチで複数並べたプローブアレイを2本有し、一方の前記プローブアレイの各々の前記電気光学プローブと他方の前記プローブアレイの各々の前記電気光学プローブとが千鳥状に配置されるようにしたプローブ組立体と、前記プローブ組立体の複数の前記電気光学プローブのそれぞれに対応して複数本の測定ビーム光を出力するプローブ光源と、前記プローブ光源からの複数本の測定ビーム光のそれぞれを前記アレイ方向またはこの斜め方向に繰り返して偏向させる偏向手段と、前記偏向手段により偏向された前記複数本の測定ビーム光を前記複数の電気光学プローブのそれぞれに入射させる光学系と、前記複数の電気光学プローブに入射された前記複数本の測定ビーム光の複数の反射戻り光の光路を変換する光路変換手段と、前記光路変換手段によって光路が変換された前記複数の反射戻り光を前記複数の電気光学プローブごとに検出する光検出手段と、前記偏向手段による前記測定ビーム光の偏向の繰り返し周期で前記プローブ組立体と前記アレイ電極基板を前記アレイ方向と直交する方向に前記アレイ電極の並び間隔分、相対移動させる移動手段とを備えることを特徴とするアレイ電極基板の検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-009370
  
• 特開昭64-018071