特許
J-GLOBAL ID：200903001147556863

基板処理装置及びデバイスの製造方法

発明者：
高橋 正人

高橋 正人 について

, 
山本 幸治

山本 幸治 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-404381
公開番号（公開出願番号）：特開2005-166996
出願日： 2003年12月03日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 基礎部上にエアマウント等を介して主要部を戴置する装置において、装置に大きな振動が加わった際に、装置に大きな衝撃を与えることなく主要部と基礎部とを固定することにより、装置の損壊を回避することができる基板処理装置等を提供する。 【解決手段】 床部Fに固定された基礎部200と、基礎部200に対して振動的に分離されて支持された主要部150とを有する基板処理装置EXにおいて、基礎部200に対する主要部150の床部Fに沿った第1方向の運動を許容しつつ、第1方向と略直交し床部に沿った第2方向の運動を弾性を持って拘束可能な固定装置340と、固定装置340の拘束状態と非拘束状態とを床部の振動状態に応じて切り替える制御装置CONTとを有する。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
床部に固定された基礎部と、前記基礎部に対して振動的に分離されて支持された主要部とを有する基板処理装置において、 前記基礎部に対する前記主要部の前記床部に沿った第1方向の運動を許容しつつ、前記第1方向と略直交し前記床部に沿った第2方向の運動を弾性を持って拘束可能な固定装置と、 前記固定装置の拘束状態と非拘束状態とを前記床部の振動状態に応じて切り替える制御装置とを有することを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  F16F15/027 ,  G03F7/20
FI (3件)：
H01L21/30 503F ,  F16F15/027 ,  G03F7/20 521
Fターム (9件)：
3J048AB15 ,  3J048AD02 ,  3J048BE02 ,  3J048DA05 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046DB04 ,  5F046DB14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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