特許

J-GLOBAL ID：200903001147993600

連続蒸着装置および連続蒸着製造方法

発明者： 伊関 清司 ,  横山 誠一郎 ,  大谷 寿幸 ,  山田 陽三 ,  宇野 利夫
出願人/特許権者： 東洋紡績株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213487
公開番号（公開出願番号）：特開平10-060643
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】電子ビームを用いたプラスチックフィルム蒸着装置において有効な2次電子対策を施した製造装置および製造方法を提供することである。【解決手段】電子ビーム蒸着法でプラスチックフィルム上に蒸着膜を作製するにあたり、プラスチックフィルム基板近傍に蒸着材料があるルツボに対して相対的に負の電場を形成することにより2次電子によるプラスチックフィルムの帯電が防止することを特徴とする連続蒸着装置。

請求項（抜粋）：

真空内で連続的に走行する長尺なプラスチックフィルムに電子ビームにより蒸発させた材料をコーテングする巻き取り式蒸着装置においてプラスチックフィルムに薄膜を形成する部分でプラスチックフィルムの面近傍に負の電位を形成して薄膜を形成することを特徴とする連続蒸着装置。