基板搬送方法及びそれに用いられる基板搬送治具

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-224183
公開番号（公開出願番号）：特開2009-059790
出願日： 2007年08月30日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：

【課題】薄型基板やフレキシブル基板を基板搬送治具に貼り付けた時に、印刷、実装、リフロー工程時には剥がれず、リフロー後ボードより剥がす時は、基板に傷を付けずに剥がせること。【解決手段】凸状の粘着性支持部を有し、該凸状の支持部に囲まれた凹部の中に吸引口を有する基板搬送治具に基板を載置し、吸引口を介して減圧下に基板を支持部に吸引固定し、減圧を解除し、支持部の粘着性により基板を保持して搬送した後、吸引口を介して気体を注入することにより基板を基板搬送治具から剥離する基板搬送方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を搬送する方法であって、凸状の粘着性支持部を有し、該凸状の支持部に囲まれた凹部の中に吸引口を有する基板搬送治具に基板を載置し、吸引口を介して減圧下に基板を支持部に吸引固定し、減圧を解除し、支持部の粘着性により基板を保持して搬送する基板搬送方法。

IPC (2件)：

H05K 3/34 , H05K 13/02

FI (2件)：

H05K3/34 507L , H05K13/02 V

Fターム (14件)：

5E313AA12 , 5E313AA23 , 5E313CC02 , 5E313CC03 , 5E313CC05 , 5E313DD13 , 5E313DD22 , 5E313DD23 , 5E313FG10 , 5E319BB05 , 5E319CC33 , 5E319CD39 , 5E319GG09 , 5E319GG15

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板の搬送治具および搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-072580 出願人：松下電器産業株式会社

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