点欠陥検出装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298574
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132750
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】複雑なシステムを構成することなく、高精度に液晶パネルの欠陥を検出し、欠陥の位置を特定することを可能とする点欠陥検出装置及び方法を提供する。【解決手段】光路変更回転板6を光軸中に備えたカメラ2と水平移動機構76および焦点位置合わせ機構75を備えた拡大中間レンズ5とを備える。

請求項（抜粋）：

部品(1)の画像を撮像素子(50)に取り込み、取り込んだ画像中の点欠陥の欠陥位置を概略的に特定する欠陥概略位置特定用カメラ(2)と、上記カメラの上記撮像素子と上記部品との間の光軸中に回転可能に配置され、かつ、撮像中に、回転軸回りに回転することにより上記部品と上記撮像素子との相対光軸位置を連続的にずらせて、相対的に光軸位置がずれた上記部品の画像を上記カメラの上記撮像素子に取り込ませうる光路変更回転板(6)と、上記部品を部分的に拡大して拡大した画像を上記カメラに取り込ませて欠陥詳細位置特定用レンズ(5)とを備えて、上記カメラで上記部品の点欠陥の欠陥概略位置を特定し、この情報に従って上記レンズを通して上記カメラで取り込まれた上記部品の濃淡画像の各画素の濃度データから上記点欠陥を検出して欠陥詳細位置を特定することを特徴とする点欠陥検出装置。

IPC (8件)：

G01B 11/30 , G01M 11/00 , G01N 21/88 , G02F 1/13 101 , G06T 7/00 , H01J 9/42 , H04N 5/66 102 , H04N 7/18

FI (8件)：

G01B 11/30 C , G01M 11/00 T , G01N 21/88 Z , G02F 1/13 101 , H01J 9/42 A , H04N 5/66 102 Z , H04N 7/18 B , G06F 15/62 400

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