特許

J-GLOBAL ID：200903001153785963

化学増幅型レジスト用重合体

発明者： 藤原 匡之 ,  桑野 英昭 ,  脇阪 幸也
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329758
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131382
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 有機溶媒に対する優れた溶解性とアルカリ現像液への良好な濡れ性を兼ね備えた化学増幅型レジスト用重合体を提供する。また、感度およびドライエッチング耐性が良好である化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 式(1)で示される単量体単位と式(2)で示される単量体単位とを含む酸によりアルカリ水溶液に可溶となる化学増幅型レジスト用重合体。【化1】(R1は水素あるいはメチル基、R2は炭素数1〜8のアルキル基、mはR2の個数で0〜14の整数を示す。mが2以上のとき、R2は互いに異なっていてもよい。)【化2】(n1はメチレン基の個数で0〜4の整数を示す。R3は炭素数1〜4のアルキル基、あるいは脱離性の保護基を含む官能基を示す。n2はR3の個数で0〜(2n1+2)の整数を示す。n2が2以上のとき、R3は互いに異なっていてもよい。)

請求項（抜粋）：

酸によりアルカリ水溶液に可溶となる化学増幅型レジスト用重合体において、式(1)で示される単量体単位と式(2)で示される単量体単位とを含むことを特徴とする化学増幅型レジスト用重合体。【化1】(R1は水素あるいはメチル基、R2は炭素数1〜8のアルキル基、mはR2の個数で0〜14の整数を示す。mが2以上のとき、R2は互いに異なっていてもよい。)【化2】(n1はメチレン基の個数で0〜4の整数を示す。R3は炭素数1〜4のアルキル基、あるいは脱離性の保護基を含む官能基を示す。n2はR3の個数で0〜(2n1+2)の整数を示す。n2が2以上のとき、R3は互いに異なっていてもよい。)

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/28 ,  C08F224/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/28 ,  C08F224/00 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (18件)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AQ01Q ,  4J100BA03P ,  4J100BC09P ,  4J100JA37