特許

J-GLOBAL ID：200903001155410568

基板検査装置及び方法

発明者： 戒田 理夫
出願人/特許権者： 日本電産リード株式会社
代理人 (1件)： 高橋 要泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-030164
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212194
出願日： 2006年02月07日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：

【課題】高密度の配線パターンに対してもより効率よく四端子測定を行うことのできる基板検査装置を提供する。【解決手段】その基板検査装置は、複数の被検査点が設定された複数の配線を有する被検査基板の前記被検査点に接触する複数の検査用プローブを使用する。各検査用プローブは、電圧測定用のプローブと電流供給用のプローブとからなる。その基板検査装置は、さらに、複数の電流供給用のプローブを群ごとに電気的に相互に接続する接続部材と、その接続部材を経由してその群に電流を供給する電流供給手段と、群に属する電流供給用のプローブに対応する電圧測定用のプローブと、その群とは異なる他の群に属する検査用プローブに対応する電圧測定用プローブとの間の電圧を測定する電圧測定手段と、電流供給手段の供給電流値と電圧測定手段の測定電圧値とから前記被検査点の2つの間の配線の抵抗値を算出する算出手段とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の被検査点が設定された複数の配線を有する被検査基板の前記被検査点に接触する複数の検査用プローブであって、各検査用プローブが、電圧測定用のプローブと電流供給用のプローブとからなる複数の検査用プローブと、 前記複数の検査用プローブの前記電流供給用のプローブを群ごとに電気的に相互に接続する接続部材と、 前記接続部材を経由して前記群に電流を供給する電流供給手段と、 前記群に属する電流供給用のプローブに対応する電圧測定用のプローブと、該群とは異なる他の群に属する検査用プローブに対応する電圧測定用プローブとの間の電圧を測定する電圧測定手段と、 前記電流供給手段の供給電流値と前記電圧測定手段の測定電圧値とから前記被検査点の2つの間の配線の抵抗値を算出する算出手段とを備える基板検査装置。

IPC (4件)：

G01R 27/08 ,  G01R 27/02 ,  G01R 31/28 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G01R27/08 ,  G01R27/02 R ,  G01R31/28 H ,  H05K3/00 T

Fターム (14件)：

2G028AA02 ,  2G028BC01 ,  2G028CG02 ,  2G028DH03 ,  2G028FK01 ,  2G028FK02 ,  2G028HN11 ,  2G132AA00 ,  2G132AD03 ,  2G132AD15 ,  2G132AE16 ,  2G132AE27 ,  2G132AF02 ,  2G132AL00

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板検査用プローブ及びそれを用いた基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-068699   出願人：日本電産リード株式会社