特許
J-GLOBAL ID：200903001170723602
ホットキャリア劣化検出回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282249
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118874
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 集積回路のホットキャリアによる劣化を検出する。【解決手段】 ホットキャリアによる劣化を検出したい回路と同一のチップ上にリングオシレータ1を設け、その発振周波数を周波数カウンター2で監視する。リングオシレータ1は本体回路が動作している期間中発振を続けるため、本体回路と共に劣化する。発振周波数は劣化の進行に伴って低下するため、その変動量が設定値以上になった時点で本体回路が寿命を迎えたと判定し、警告信号を出す。リングオシレータ1の電源電圧は、昇圧回路4を通してから印加され、本体回路よりも高電圧で駆動される。このため、リングオシレータ1は本体回路よりも速く劣化が進み、本体回路が寿命になった時点の発振周波数の変動量は、昇圧しない場合に比べて大きくなるため、寿命判定の基準値を大きく取ることができ、劣化の検出を確実に行うことができる。
請求項（抜粋）：
リングオシレータと、昇圧回路と、アラーム信号出力手段とを有するホットキャリア劣化検出回路であって、前記リングオシレータは、予め設定された値の発振周波数で発振信号を出力するものであり、前記昇圧回路は、高電圧に昇圧して前記リングオシレータに電源電圧を供給するものであり、前記アラーム信号出力手段は、前記リングオシレータの発振出力を入力とし、その発振周波数が設定値以下になった時点で、本体回路が劣化寿命に達したことのアラーム信号を出力させるものであることを特徴とするホットキャリア劣化検出回路。
IPC (4件)：
G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 27/04
, H01L 21/822
G01R 31/26 G
, G01R 31/26 B
, H01L 21/66 N
, H01L 27/04 T
