特許
J-GLOBAL ID：200903001171919985
固体中元素の濃度分布の測定方法および測定用試料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-304275
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210998
出願日： 1995年11月22日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 質量分析による不純物元素の分布を、高精度で測定することを目的とする。【構成】 不純物の注入量及び不純物分布の評価方法として、同一ウエハー内に標準試料をつくり込み、一つの試料の中に実際に測定したい試料と標準用の試料の両方を形成する。測定用試料と標準試料を別々につくる場合に比べ、相対感度係数の変動を少なくすることができ、精度が向上する。
請求項（抜粋）：
固体中元素の濃度分布の測定方法に於いて、単一の測定試料内に同一の元素で濃度未知の領域と濃度既知の領域とを形成し、両者を質量分析により測定することにより、濃度既知の領域を標準として、濃度未知の領域の元素濃度分布を求めることを特徴とする固体中元素の濃度分布の測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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