特許

J-GLOBAL ID：200903001175086155

水晶振動子湿度センサ

発明者： 藤澤 直広 ,  伊丹 正登
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079353
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260661
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 感湿膜の吸湿による重量変化を振動子の共振周波数変化として検出する、水晶振動子の振動面に感湿膜を形成させた湿度センサであって、高温ならびに高温高湿安定性にすぐれたものを提供する。【構成】 水晶振動子表面にポリエーテルスルホン感湿膜を形成させた水晶振動子湿度センサ。ポリエーテルスルホン感湿膜は、コーティング法によって形成される。

請求項（抜粋）：

水晶振動子表面にポリエーテルスルホン感湿膜を形成せしめてなる水晶振動子湿度センサ。