特許

J-GLOBAL ID：200903001175376633

リン化ガリウム単結晶製造方法

発明者： 辰宮 一樹
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-386658
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192498
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 酸化ホウ素(B2O3)を用いた液体封止引き上げ法(LEC法)で育成される直径が63.5mm(2.5インチ)以上のリン化ガリウム単結晶製造方法において、ウェーハのボイドの発生を抑制したリン化ガリウム単結晶製造方法を提供する。【解決手段】 酸化ホウ素(B2O3)を用いた液体封止引き上げ法(LEC法)で、直径が63.5mm(2.5インチ)以上のリン化ガリウム単結晶を育成する製造方法において、結晶直径d/ルツボ内径Dbを0.7以下とする。

請求項（抜粋）：

酸化ホウ素(B2O3)を用いた液体封止引き上げ法(LEC法)で、直径が63.5mm(2.5インチ)以上のリン化ガリウム単結晶を育成する製造方法において、結晶直径/ルツボ内径を0.7以下とすることを特徴とするリン化ガリウム単結晶製造方法。

IPC (4件)：

C30B 29/44 ,  C01B 25/08 ,  C30B 15/10 ,  C30B 27/02

FI (4件)：

C30B 29/44 ,  C01B 25/08 A ,  C30B 15/10 ,  C30B 27/02

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BE43 ,  4G077CF10 ,  4G077EG01 ,  4G077EJ07 ,  4G077PD02