特許

J-GLOBAL ID：200903001177647618

投影露光装置

発明者： 名井 康人 ,  宮本 照雄 ,  内山 淑恵 ,  頭本 信行 ,  八木 俊憲 ,  加門 和也 ,  田中 正明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185298
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013300
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】 フライアイレンズ後段に輪帯状のアパーチャを有し、マスク面上を照射する光の強度分布を均一化する。【構成】 回転駆動部5と回転軸5aからなる回転機構を設け、フライアイレンズ3を回転軸5aを中心として回転させ、マスク8上で光源光の時間的重ね合わせが得られるようにする。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源から出射した光を受け、複数の単位レンズがマトリックス状に配置されたフライアイレンズと、輪帯状の光透過領域を有し、上記フライアイレンズを通過した光の一部を遮るアパーチャと、該アパーチャを通過した光を集光する集光レンズ系と、該集光レンズを通過した光が照射され、回路パターンが形成されたマスクと、該マスクを通過した光をウエハ表面に集光させる投影レンズ系と、上記フライアイレンズを、該フライアイレンズの光軸断面が上記アパーチャの面とほぼ平行状態を保ちながら、空間的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 521