特許
J-GLOBAL ID：200903001178784767
走査型トンネル顕微鏡の探針及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-270489
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089914
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】本発明は、最先端部が尖鋭で原子像の観察が可能な分解能を有し、電解液中のSTM測定において明瞭な像を得ることのできる走査型トンネル顕微鏡の探針及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、走査型トンネル顕微鏡の探針またはその製造方法において、円錐状に尖らせた導電性探針の先端部を絶縁性薄膜で覆い、該探針における円錐状先端の絶縁性薄膜部に局所的に導電性を付与し、該導電性付与部に前記円錐状先端よりさらに尖鋭な金属針を形成したことを特徴とすものである。
請求項（抜粋）：
走査型トンネル顕微鏡の探針において、円錐状に尖らせた導電性探針素材の先端部を絶縁性薄膜で覆い、該探針素材における円錐状先端の絶縁性薄膜部に局所的に導電性を付与し、該導電性付与部に前記円錐状先端よりさらに尖鋭な金属針を形成したことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡の探針。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G02B 27/56
, H01J 37/28
G01N 37/00 C
, G01B 7/34 Z
, G02B 27/56
, H01J 37/28 Z
