特許
J-GLOBAL ID:200903001181442435

分類装置及び分類方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-381495
公開番号(公開出願番号):特開2006-189915
出願日: 2004年12月28日
公開日(公表日): 2006年07月20日
要約:
【課題】精度の高い分類を行うことができる分類装置を提供する。【解決手段】検査画像より欠陥領域を抽出する欠陥領域抽出手段101と、前記欠陥領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び前記正解カテゴリに対する妥当性の尺度である確信レベルを入力する操作手段104と、正解カテゴリ及び確信レベルの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段105と、確信レベルが高い教師データを確信レベルが低い教師データより有意なデータとして分類を行う分類手段107と、を備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
画像より領域を抽出する領域抽出手段と、 前記領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び前記正解カテゴリに対する妥当性の尺度である確信レベルを入力する操作手段と、 正解カテゴリ及び確信レベルの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段と、 確信レベルが高い教師データを確信レベルが低い教師データより有意なデータとして分類を行う分類手段と、 を備えることを特徴とする分類装置。
IPC (2件):
G06T 7/00 ,  H01L 21/66
FI (2件):
G06T7/00 250 ,  H01L21/66 J
Fターム (12件):
4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ11 ,  5L096BA03 ,  5L096EA39 ,  5L096FA35 ,  5L096HA09 ,  5L096JA03 ,  5L096JA11 ,  5L096JA22 ,  5L096KA04
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

前のページに戻る