特許
J-GLOBAL ID：200903001191861320
ワイヤソ-のインゴット切断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244728
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058210
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 インゴットの切断時間の短縮化を図る。ウェーハの厚さムラを低減する。インゴット1本当たりのウェーハの収率を向上させる。ウェーハの反りを低減する。【解決手段】 ワイヤ列11の往き返りの1サイクル当たりの送り量を、インゴットIの切断始端部や切断終端部で比較的大きくし、かつインゴットIの切断中央部では比較的小さくした。この結果、インゴットIとの接触長さが短い切断始端,終端部の総アイドルタイムiを短くできる。インゴット切断時間を短縮化せきる。同時に接触長さが長い切断中央部では砥液切れを起こさず、円滑に切断できる。切断直後のウェーハWの厚さムラを低減できる。ウェーハ収率を増大できる。ウェーハWの反りを低減できる。ラッピング時のウェーハWの割れやワイヤ断線も防止できる。
請求項（抜粋）：
砥液を供給しながらワイヤソーのワイヤ列を所定量だけ往復走行させてインゴットを切断するワイヤソーのインゴット切断方法において、上記ワイヤ列の往き返りの1サイクル当たりの送り量を、上記インゴットの切断始端部および切断終端部では比較的大きくし、上記インゴットの切断中央部では比較的小さくしたワイヤソーのインゴット切断方法。
IPC (3件)：
B24B 27/06
, B28D 5/04
, H01L 21/301
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
, H01L 21/78 A
