特許
J-GLOBAL ID：200903001196709187
半導体製造における品質管理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-400393
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053104
出願日： 1990年12月04日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】本発明は、半導体製造における品質管理において、必要な情報を必要なときに迅速かつ正確に得ることができることを最も主要な特徴とする。【構成】半導体製造における品質管理システムは、半導体製造の各工程において使用する各製造装置111〜119での処理条件その他の情報を、逐次ホストコンピュ-タ14が収集蓄積する。また、ホストコンピュ-タ14に蓄積された任意の情報を、所定の情報を基に端末15によって検索することが可能なことを特徴とする。これによって、製品にトラブルが発生した際においても、必要な情報を迅速かつ正確に得ることが可能となる。
請求項（抜粋）：
半導体製造の各工程において使用する各設備と、当該各設備における処理条件、部材名その他様々な情報を逐次収集蓄積する手段と、当該手段に蓄積された任意の情報を、所定の情報を基に検索することが可能な手段とを具備することを特徴とする半導体製造における品質管理システム。
IPC (2件)：
引用特許：
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