ガラス基板の洗浄液及び洗浄方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-319014
公開番号（公開出願番号）：特開2000-140778
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】ガラス表面に付着残存した研磨粒子を効果的に洗浄除去することができ、しかもエッチングむらも生じることがない。【解決手段】ガラス基板12を研磨処理する後にガラス表面に付着残存する研磨粒子を、0.05〜0.15重量%濃度のフッ化水素酸と、1〜20重量%濃度の硫酸又は硝酸若しくはリン酸とから成る混酸液である洗浄液で洗浄するようにしたので、ガラス基板12面に付着残存した研磨粒子を効果的に洗浄除去することができ、しかもエッチングむらも生じることがない。

請求項（抜粋）：

ガラス基板を研磨処理した後にガラス表面に付着残存する研磨粒子を洗浄除去する洗浄液において、前記洗浄液は、0.05〜0.15重量%濃度のフッ化水素酸(HF)と、5〜20重量%濃度の硫酸(H2 SO4 )又は硝酸(HNO3 )若しくはリン酸(H3 PO4 )とから成る混酸液であることを特徴とするガラス基板の洗浄液。

IPC (5件)：

B08B 3/08 , B08B 1/04 , C03C 15/00 , C23G 5/028 , G11B 5/84

FI (5件)：

B08B 3/08 Z , B08B 1/04 , C03C 15/00 B , C23G 5/028 , G11B 5/84 A

Fターム (51件)：

3B116AA03 , 3B116AB23 , 3B116AB45 , 3B116BA02 , 3B116BA08 , 3B116BA14 , 3B116BB03 , 3B116BB85 , 3B116CC01 , 3B116CC03 , 3B116CC05 , 3B201AA03 , 3B201AB24 , 3B201AB45 , 3B201BB04 , 3B201BB85 , 3B201BB93 , 3B201BB96 , 3B201CB15 , 3B201CC01 , 3B201CC11 , 3B201CC15 , 3B201CC21 , 4G059AA01 , 4G059AA08 , 4G059AB03 , 4G059AC30 , 4G059BB04 , 4G059BB16 , 4K053PA01 , 4K053PA13 , 4K053QA07 , 4K053RA04 , 4K053RA15 , 4K053RA16 , 4K053RA17 , 4K053RA18 , 4K053SA06 , 4K053SA17 , 4K053SA18 , 4K053TA01 , 4K053TA16 , 4K053TA17 , 4K053TA19 , 5D112AA02 , 5D112BA03 , 5D112GA02 , 5D112GA08 , 5D112GA10 , 5D112GA28 , 5D112GA30

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平2-114638

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