基板の検査方法および検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-341451
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177185
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】大面積の基板の表面に形成された凹凸の形状の面内分布を短時間で検査したり、凹凸の形状の短時間で定量的に検査する方法と装置を提供する【解決手段】表面に半頂角αの円錐状もしくは角錐状の突起1を多数有する基板の検査方法であって、上記基板を基準面4上に載置するとともに、この基準面4から上記半頂角α+β1の延長線上から光2を照射して反射光を上記半頂角α-β2(β2=β1)の延長線上に設置したカメラ3で受光する。【選択図】図2

請求項１：

表面に円錐状もしくは角錐状の突起を多数有する基板の検査方法において、前記円錐状もしくは角錐状の錐面の母線に対する入射角θ1の延長線上から光を照射して反射光を反射角θ2の延長線上で受光することを特徴とする基板の検査方法。

IPC (4件)：

G01B11/30 , G01N21/956 , H01L21/66 , H01L31/04

FI (4件)：

G01B11/30 102Z , G01N21/956 A , H01L21/66 J , H01L31/04 H

Fターム (35件)：

2F065AA32 , 2F065AA35 , 2F065AA36 , 2F065AA49 , 2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065CC17 , 2F065DD06 , 2F065FF43 , 2F065GG02 , 2F065GG24 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065JJ08 , 2G051AA51 , 2G051AA73 , 2G051AB20 , 2G051AC11 , 2G051BA20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EB01 , 2G051FA10 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA38 , 4M106CA70 , 4M106DB02 , 4M106DB07 , 5F051AA02 , 5F051AA03 , 5F051GA04 , 5F051GA15 , 5F051GA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

プローブ針の針先位置の検出方法及び検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-170536 出願人：株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
光沢度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-132588 出願人：株式会社豊田中央研究所
特開昭58-002721

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