特許
J-GLOBAL ID：200903001212530117

耐プラズマ性部材およびその製造方法

発明者：
藤田 光広

藤田 光広 について

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森田 敬司

森田 敬司 について

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青沼 伸一朗

青沼 伸一朗 について

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村松 滋子

村松 滋子 について


出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

東芝セラミックス株式会社 について


代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-251931
公開番号（公開出願番号）：特開2002-068838
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ曝露に対しても十分耐え、かつコストの低減が図られた耐プラズマ性部材およびその製造方法の提供。【解決手段】 耐プラズマ性部材の発明は、腐食性ガス下でプラズマに曝される少なくとも表面領域が酸化イットリウム系焼結体であることを特徴とし、また、その酸化イットリウム系焼結体がアルミン酸イットリウムとの複合焼結体で、かつアルミニウム元素の定量によって算出されるアルミン酸イットリウムを外率で0.1〜10質量%含有していることを特徴とする。そして、この酸化イットリウム系焼結体は、気孔率が2%以下、表面が中心線平均粗さ(Ra)2.5以下であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
腐食性ガス下でプラズマに曝される少なくとも表面領域が酸化イットリウム系焼結体であることを特徴とする耐プラズマ性部材。
IPC (3件)：
C04B 35/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (3件)：
C04B 35/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
Fターム (21件)：
5F004AA15 ,  5F004BA20 ,  5F004BB07 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA05 ,  5F004DA11 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045BB15 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EH02 ,  5F045EH16
引用特許：
審査官引用 (5件)
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