特許
J-GLOBAL ID:200903001213939868

超音波モータドライバ及び超音波モータコントローラ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  妻鹿 恒雄 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-004695
公開番号(公開出願番号):特開2004-222372
出願日: 2003年01月10日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
【課題】超音波モータを間欠的に駆動することによりステージの変位を精密に制御する。【解決手段】超音波モータ13により駆動されるステージ14の変位目標値と実変位の差である変位偏差に基づいて波数決定部11jで波数が決定される。速度目標値又は速度目標値と実速度の差である速度偏差に応じて決定されるインターバルを超音波モータに印加する駆動波の少なくとも1周期毎に挿入して発生パターン決定部11kで駆動パターンを生成し、この駆動パターンに基づいて所定インターバル毎に所定周波数の超音波モータの駆動波を波数決定部で決定された波数だけ駆動波形生成部12で発生して超音波モータに供給する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
超音波モータにより駆動される可動体を駆動するパルスを受信するパルス受信部と、 前記パルス受信部で受信されたパルスの波数を予め設定された倍率倍する乗算部と、 前記乗算部で倍率倍されたパルスに基づいて、所定周波数の超音波モータ駆動波を発生する駆動波発生部を具備する超音波モータドライバ。
IPC (1件):
H02N2/00
FI (1件):
H02N2/00 C
Fターム (4件):
5H680BC10 ,  5H680FF25 ,  5H680FF29 ,  5H680FF38
引用特許:
審査官引用 (1件)

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