特許

J-GLOBAL ID：200903001216836040

ステッピングエアモータ及びそれを用いた半導体検査装置

発明者： 伊藤 正人
出願人/特許権者： 株式会社しなのエレクトロニクス
代理人 (1件)： 山田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065814
公開番号（公開出願番号）：特開平7-279601
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 エアパルスを用いることにより、高温・低温環境化でも高信頼性のある作動を可能とすると共に電磁ノイズの発生もないステッピングエアモータを実現すること。【構成】 ステッピングエアモータ100は、3相エアパルス(AP1,AP2,AP3)の供給によりパルス同期して公転角120°毎で歩進的に公転する公転子11を有する公転機構10と、その公転子11の公転直径Dでの公転運動を基に出力軸21aに自転回転を取り出す公転/自転変換機構(ハイポサイクロイド減速機構)20とから構成されている。3発のエアパルスが発生すると、公転子11は自転を制して公転直径Dの1公転をするようになっており、これに伴ってピニオン22も公転するため、内歯車21は歯数差分だけ自転する。

請求項（抜粋）：

n相(n≧3)のエアパルスの供給によりパルス同期して公転角2π/nラジアン毎で歩進的に公転する公転子を備えた公転機構と、その公転子の公転運動を基に出力軸に自転運動を取り出す公転/自転変換機構とを有することを特徴とするステッピングエアモータ。

IPC (3件)：

F01C 1/00 ,  H01L 21/66 ,  F03C 1/053

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭49-125803
  
• 特開昭61-236907