特許

J-GLOBAL ID：200903001218971239

低屈折率膜、低反射膜、低反射導電膜及び低反射防眩導電膜

発明者： 阿部 啓介 ,  久保田 恵子 ,  真田 恭宏 ,  平塚 和也 ,  森本 剛
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-190093
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011602
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【構成】Sn、Sb、In、Ru等の酸化物からなる導電膜上に、Fを含む珪素化合物を含む液を塗布し、低反射導電膜を形成する。その上に同様の液をスプレーコートして低反射防眩導電膜を形成する。【効果】真空を要する大がかりな設備を必要とせず、優れた膜を形成できる。

請求項（抜粋）：

Fを含有する珪素化合物を含む塗布液を基体上に塗布した後、加熱かつ/または紫外線照射により形成された低屈折率膜。